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表面検査装置(FRT)

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FRT社概要

ドイツのFRT(Fries Research & Technology GmbH)社は1995年の設立以来、一環して表面検査装置の開発及び製造を行ってきました。常に市場のニーズを満たす提案を行ってきた実績により、トポグラフィ、表面構造、ステップハイト、表面粗さ、磨耗、厚み等、検査パラメーターは多岐に渡っています。また独自に開発したソフトウエアは、自動検査の制御や2D及び3Dのデータ解析においても、高いパフォーマンスを実現しています。

近年では、高機能かつ微細化が各産業においてのテーマとなっていますが、FRT社ではいち早く検査の自動化に向けて取り組んでいます。またFRT社製の検査装置の大きな特徴であるマルチセンサーシステムは、一つの装置で異なるセンサーを搭載することにより、検査の多様化にも対応しています。加えて、オンサイトでのアップグレードにより、開発用に導入した設備を将来的に自動化へ対応させることも可能です。

アプリケーション事例

 半導体

研磨ディスク(後工程) スロープ、ダイヤモンド突出量、等
ウェーハスタック(後工程) 総厚、デバイス層厚、接着剤厚、粗さ、構造、等
バンプ & BGA寸法 ピッチ、粗さ、平滑度、等
TSV 深さ、トップ径、ボトム径、貫通部測定、等
ナノトポ ウェーハのマップ、スレッシュホールド解析、異物検出、ディンプル評価、等

ウェーハ(シリコン、サファイア、SiC、LT(LiTaO3)、LN(LiNbO3)、石英、等)

ウェーハ 厚み、TTV、Bow、Warp、表面粗さ、Sawマーク、等
成膜 膜厚、ストレス、等

MEMS

基板  平坦度、粗さ、等
導電路  幅、高さ、平坦度、等
構造  キャビティ深さ、溝寸法、等
マイクロ流路  幅、深さ、粗さ、等
MEMSウェーハ  幅、高さ、メンブレンのBow、クラック、厚み、TTV、等

ソーラー

ウェーハ 厚み、TTV、粗さ、Sawマーク、貫通部測定、等
ホール及びエッジ 形状、深さ、寸法、等
フィンガー & バスバー 幅、高さ、ボリューム、等
成膜 厚み、等
表面構造 PI成膜構造、等

車載部品

インテリア 厚み、表面粗さ、構造、等
  ダッシュボード 構造、厚み(人口レザー等)、等
  内装材 構造、厚み、等
  ディスプレイ / スイッチ 表面粗さ、等
エクステリア 塗装厚み、表面粗さ、等
  ドアノブ 表面粗さ、等
  塗装 厚み、表面粗さ、等
エンジン 表面粗さ、平坦度、等
  シリンダー 粗さ、研磨精度、摩耗具合、等
  インジェクター バルブシート、平坦度、共平面性、等
  ターボ部材 バルブシート、平坦度、共平面性、等
  クランクシャフト 粗さ、凸形状及び半径、等
ブレーキ 粗さ、等
  パット & ディスク 粗さ、平坦度、等
シリンダーヘッド 寸法、等
  パッキン 厚み、幅、高さ、角度、等

 その他

バルブ 平坦度、粗さ、直径、等
ポンプ 平坦度、等
シーリング面 溝深さ、平坦度、放射角度、内外径、等
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