プレミオン株式会社は、半導体、MEMS、LED、液晶等の先端技術産業用の材料及び装置の販売を行っています。

MicroProf 200

MicroProf 200

MicroProf 200は、これまでに400台以上の納入実績があり、高い信頼性とシンプルなユーザーインターフェースで評価を得ています。また、TTV測定及びMHU(自動化対応)のオプションユニットによるアップグレードも可能です。

FRT06

 <装置概要>

●非破壊検査

●DIN-ISOやSEMI基準に基づく測定

●高輝度/高寿命のLEDライトを光源に採用

●マルチセンサーシステムへの対応可能機種

●測定エリア 250mm X 200mm

●測定速度はMaxで300mm/秒

TTVオプション

FRT07MicroProf 200へTTVオプションを取り付ける事が可能です。FRT社のTTV測定は、CWL(白色光源色収差)センサーを測定下部へ1つ追加し、既存の上部センサーと同じポイントから測定を行います。その為、SEMI基準に準拠した厚みやTTV測定が可能となり、同時に粗さ等の他のパラメーター測定も行えます。また、ソフトウエアのオプション機能を追加することにより、BowやWarpといったパラメーターへの対応も可能です。

MHU(自動化対応)オプション

FRT08MicroProf 200は、各ユニットをモジュール構造としているため、導入後のニーズに合わせてオンサイトでのMHU(自動化対応)オプション対応が可能ですマニュアル機であるMicroProf 200に、搬送用ロボットやカセットステージ(最大4個)を取り付ける事により、測定の自動化が実現出来ます。また、アライナー、OCR読取といったオプションも取り揃えていますので、実際の製造工程に沿った自動化が行えます。

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