MicroSpy FT
MicroSpy FTは、非接触の光学式膜厚測定用の検査装置です。可視光もしくは近赤外線光における透明膜及び半透明膜の測定が可能です。ナノメートルレベルの極薄膜測定にも対応していますので、研究開発や品質管理の面において高いパフォーマンスを発揮します。
＜装置概要＞
●基板上の自立膜、単層膜及び積層膜の測定が可能です
●2Dの点測定及びプロファイル測定対応
●3Dマッピングモード搭載
●10nmまでの薄膜測定対応
●測定物観察用のCCDカメラ搭載
●モーター制御の測定ステージ（X、Y） 50mm X 50mm
