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MicroSpy Topo DT

MicroSpy Topo DT

MicroSpy Topo DTは、共焦点及び干渉法測定技術を用いた、非破壊かつ高速測定を実現した3D顕微鏡です。測定用途により、MicroSpy Topo DTは共焦点顕微鏡、もしくは白色光源干渉計としてご使用いただけます。

FRT04

 <装置概要> 

●平坦面上にある大きな段差測定用の

 垂直走査干渉(VSI)モード採用 

●非常に平坦な面の測定用に、

 位相変移干渉(PSI)モード採用 

●深さ測定に最適な共焦点測定モード搭載 

●ナノレベルの解像度での3D測定対応 

●37mm2の測定時間は10秒以下 

●モーター制御の測定ステージ(X、Y)50mm X 50mm

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