MicroSpy Topo DT
MicroSpy Topo DTは、共焦点及び干渉法測定技術を用いた、非破壊かつ高速測定を実現した3D顕微鏡です。測定用途により、MicroSpy Topo DTは共焦点顕微鏡、もしくは白色光源干渉計としてご使用いただけます。
＜装置概要＞
●平坦面上にある大きな段差測定用の
垂直走査干渉（VSI）モード採用
●非常に平坦な面の測定用に、
位相変移干渉（PSI）モード採用
●深さ測定に最適な共焦点測定モード搭載
●ナノレベルの解像度での3D測定対応
●37mm2の測定時間は10秒以下
●モーター制御の測定ステージ（X、Y）50mm X 50mm
