MicroSpy Topo

MicroSpy Topo

MicroSpy TopoはLEDを光源とした共焦点顕微鏡で、非接触で高速の測定に最適です。研究開発や製造工程における3Dトポグラフィ、粗さや輪郭等において、高いパフォーマンスを発揮します。

＜装置概要＞

●高速測定

●モーター制御の測定ステージ（X、Y、Z）

●グラナイト（花崗岩）ステージ

●垂直方向におけるナノレンジの高解像度

●優れた焦点深度による明瞭なイメージ

●FRT社が独自開発した解析ソフト（Mark Ⅲ）含む