MicroSpy TopoはLEDを光源とした共焦点顕微鏡で、非接触で高速の測定に最適です。研究開発や製造工程における3Dトポグラフィ、粗さや輪郭等において、高いパフォーマンスを発揮します。
<装置概要>
●高速測定
●モーター制御の測定ステージ(X、Y、Z)
●グラナイト(花崗岩)ステージ
●垂直方向におけるナノレンジの高解像度
●優れた焦点深度による明瞭なイメージ
●FRT社が独自開発した解析ソフト(Mark Ⅲ)含む