プレミオン株式会社は、半導体、MEMS、LED、液晶等の先端技術産業用の材料及び装置の販売を行っています。

CMPスラリー用フィルター

概要

 プレミオン株式会社では、Mycropore社のフィルターの取り扱いを行っています。

 Mycropore社の製品の特徴は、プレフラッシングを標準とし、かつプレウェットのスラリー用フィルターの提供も行っています。このような市場の技術的なニーズを的確に捉え、その応用を量産技術へ適用しています。また、製造工程における薬液の廃液量を削減し、循環による再利用率を向上させる環境に優しいソリューションを提案しています。それにより、生産性の改善やコストダウンの実現にも寄与する事が可能です。

 特にCMPで使用されるスラリー用のフィルターにおいては高い性能を有し、スラリー用のフィルターSlurriGard Nシリーズは、CMP工程に影響を及ぼすパーティクル、ミクロゲルや凝集した粒子等の除去には最適です。かつ適切なスラリー粒子のサイズ分布は、フィルタリング後でも維持されます。

 Mycropore社では製品開発の過程において独自の技術を構築し、フィルター製造における特許も取得しております(スラリー用フィルターのPPメディアにおけるプレウェット技術)。

フィルターラインナップ

 フィルターラインナップ

スラリーアプリケーション

スラリーアプリケーション

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