プレミオン株式会社は、半導体、MEMS、LED、液晶等の先端技術産業用の材料及び装置の販売を行っています。

プレフラッシング技術

プレフラッシングフィルター

 超高圧でプレフラッシングを行ったMycropore社製のフィルターは、下記のデータが示す通りノンフラッシングのフィルター(取付け後に15分間のフラッシング有)と比較すると、1mℓ中のパーティクル数や金属汚染レベルにおいて高い性能を発揮しています。

超高圧プレフィラッシングフィルターとノンフラッシングフィルタとの比較01

超高圧プレフィラッシングフィルターとノンフラッシングフィルタとの比較02

* IPAに24時間浸した後、ICP-MSにて金属汚染解析(単位はppb)

フィルタリング後の比抵抗値の推移

 フィルターのプレフラッシングは標準で行われ、高圧での純水フラッシングとバキュームでの乾燥方式を採用しています。これにより、使用開始時のパーティクル数や金属レベルを低減させ、結果として純水の比抵抗費の低下を軽減しています。

フィルタリング後の比抵抗値の推移

 

 

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