プレフラッシングフィルター
超高圧でプレフラッシングを行ったMycropore社製のフィルターは、下記のデータが示す通りノンフラッシングのフィルター（取付け後に15分間のフラッシング有）と比較すると、1mℓ中のパーティクル数や金属汚染レベルにおいて高い性能を発揮しています。
* IPAに24時間浸した後、ICP-MSにて金属汚染解析（単位はppb）
フィルタリング後の比抵抗値の推移
フィルターのプレフラッシングは標準で行われ、高圧での純水フラッシングとバキュームでの乾燥方式を採用しています。これにより、使用開始時のパーティクル数や金属レベルを低減させ、結果として純水の比抵抗費の低下を軽減しています。
