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設置型検査装置(MicroProfシリーズ)

設置型検査装置(MicroProfシリーズ)

FRT社のMicroProfシリーズは標準検査装置で、多種多様なアプリケーションでご使用いただいております。また、各ユニットをモジュール構造としているため、導入後にオンサイトMicroProf 200へTTVオプションを取り付ける事が可能です。FRT社のTTV測定は、CWL(白色光源色収差)センサーを測定下部へ1つ追加し、既存の上部センサーと同じポイントから測定を行います。その為、SEMI基準に準拠した厚みやTTV測定が可能となり、同時に粗さ等の他のパラメーター測定も行えます。また、ソフトウエアのオプション機能を追加することにより、BowやWarpといったパラメーターへの対応も可能です。

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    MicroProf 200

 

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