SiCウェーハ再生加工サービス
近年、パワーデバイスの普及により、SiC（シリコンカーバイド）ウェーハの需要が増加しています。しかしSiCウェーハの価格はシリコンウェーハと比較すると高価でありながら、再生加工サービスは実用化されていませんでした。これは、SiCウェーハの再生加工の難しさに加え、市場規模がシリコンウェーハに比べて小さい事が要因となっています。このような環境の中で、台湾の大手シリコンウェーハ再生メーカーは、以前よりSiCウェーハの再生加工技術の開発に着手し、既に実用ベースでのサービスを提供しています。プレミオン株式会社は、この台湾再生メーカーと協力して、今後は日本国内においてSiCウェーハ再生加工サービスを提供していきます。
対応可能サイズ：3インチ（76.2mm）、4インチ（100mm）、6インチ（150mm）
プロセスフロー
特 徴
１）シリコンウェーハの再生加工で培った技術に加え、最先端の設備により高品質の再生加工を提供します。
２）研磨量を抑えることにより、再生回数を増加させる事が可能です。
３）短納期対応に加え、コストを抑えたサービスを提供します。
４）お客様のご要望に合わせた、きめ細かいサービスを心がけています。
