MicroSpy Profile
MicroSpy Profileは、非接触で2D及び3Dの表面検査を行う事が可能です。共焦点色収差センサーにより表面構造を用意に測定する事が可能で、粗さ、輪郭や3Dトポグラフィの検査に最適です。
＜装置概要＞
●高寿命のLEDライト光源
●測定物観察用のCCDカメラ内臓
●非破壊で高速測定
●垂直方向の測定レンジは、導入時にセンサーを
選択いただく事により300umから3mmまで対応可能
●垂直方向の解像度は、最大で3nm
(300umレンジのセンサーの場合）
●センサーの位置だしは、マニュアル操作対応
●FRT社が独自開発した解析ソフト（MARKⅢ）含む
