プレミオン株式会社は、半導体、MEMS、LED、液晶等の先端技術産業用の材料及び装置の販売を行っています。

MicroSpy Profile

MicroSpy Profile

MicroSpy Profileは、非接触で2D及び3Dの表面検査を行う事が可能です。共焦点色収差センサーにより表面構造を用意に測定する事が可能で、粗さ、輪郭や3Dトポグラフィの検査に最適です。

FRT02<装置概要>

●高寿命のLEDライト光源

●測定物観察用のCCDカメラ内臓

●非破壊で高速測定

●垂直方向の測定レンジは、導入時にセンサーを

 選択いただく事により300umから3mmまで対応可能

●垂直方向の解像度は、最大で3nm

 (300umレンジのセンサーの場合)

●センサーの位置だしは、マニュアル操作対応

●FRT社が独自開発した解析ソフト(MARKⅢ)含む

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